Система вибрационного контроля AVOS AR для полупроводниковой промышленности
- Описание
Оптимальный дизайн систем позволяет им стать органичной частью рабочего места, а простота их конструкции не требует никакой дополнительной настройки.
Преимущества технологии для полупроводниковой промышленности:
- Патентованная архитектура
- Активная виброзащита во всех 6-ти степенях свободы
- Увеличенная производительность установки
- Улучшенные работа установки и качество изображения
- Минимальное количество производственных сбоев
- Простота интеграции в рабочее место установки
- Самые небольшие по высоте, самые легкие по весу
- Полностью развязанная архитектура изолирует вибрации пола и вибрации установки: движущиеся столики, вентиляторы, внутренние двигатели
- Подходят для тяжелых установок
- Не требуют дополнительной настройки
Продукты и решения:
- Автономные готовые продукты. 15 устройств в 3-х основных линейках.
- Интегрированные решения OEM. Наша технология может быть интегрирована в установки других производителей.
- Индивидуальные решения. Адаптируем нашу технологию для создания индивидуального решения.
|
Активная виброзащита |
0,5 - 100 Гц |
|
6 степеней свободы активной виброзащиты |
|
|
Высокое значение затухания при ступенчатом воздействии |
|
|
Нагрузка |
15 - 200 кг |
|
Вес |
20 кг |
|
Не требует настройки |
Простота установки |
|
Габаритные размеры |
500x400x80 мм подходит для большинства лабораторных AFM |
|
Нивелирование |
+/- 5 мм |
|
Питание |
90-240 В AC, 50/60Гц, 150 Вт |
|
Среднее потребление питания ~ 30 Вт |
|
|
Может работать совместно с внутренней системой виброзащиты прибора |
|
|
Особые размеры и дополнительные модификации доступны по запросу |
|
